Élaboration, étude et analyse par spectroscopie m-lines de guides d'ondes composites multicouches
Par : Schneider Thomas
Document archivé le : 14/01/2008
Depuis une quarantaine d années, la spectroscopie m-lines est utilisée pour la caractérisation optique de guides d ondes plans monocouches. L objet des travaux de recherches de cette thèse a été d en généraliser l emploi à l étude de guides composites multicouches. Une méthode d analyse numérique, permettant de relier les mesures m-lines aux valeurs des indices optiques et des épaisseurs d un guide à trois couches, a été développée. La précision de cette méthode a été étudiée par une approche statistique sur un grand nombre de guides simulés et estimée à environ 10-3 pour l indice de réfraction et à une dizaine de nanomètres pour l épaisseur. Des structures multicouches ont été élaborés à partir de ZnO et de PZT et caractérisés par la spectroscopie m-lines. La variation d indice de réfraction de chacune des couches des guides ZnO/PZT/ZnO ont pu être corrélées à des résultats d analyse structurale. La méthode d analyse des guides à trois couches a donc été validée expérimentalement.
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